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有机蒸发

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双手套箱有机光电蒸镀系统

2017-03-04 点击量:

1. 由手套箱两套及一套高真空蒸发镀膜系统等组成
2. 手套箱A内放置真空金属蒸发镀膜系统与太阳光模拟器,蒸发室有多组独立金属蒸发源,之间有隔板,同时可放多个样片,转速连续可调,蒸发源到基片距离连续可调
3. 手套箱B内安装涂胶机,带有有机吸附阱,后板有多组电极引线接口